Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...
Sábháilte in:
Príomhchruthaitheoir: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
Formáid: | Книга |
Ábhair: | |
Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
Míreanna comhchosúla
-
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
de réir: Светличный А.М - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
de réir: Светличный, А. М. -
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем учебное пособие
de réir: Васильев, В. Ю. -
Основы объемного импульсного лазерного упрочнения инструментальных и конструкционных материалов монография
de réir: Пинахин, И. А.