Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая мод...
Saved in:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|