Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая мод...
Salvato in:
Natura: | Книга |
---|---|
Soggetti: | |
Accesso online: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|
Descrizione fisica: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9275-3083-0 |