Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая мод...
Tallennettuna:
Aineistotyyppi: | Книга |
---|---|
Aiheet: | |
Linkit: | Перейти к просмотру издания |
Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
Ulkoasu: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9275-3083-0 |