Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая мод...
محفوظ في:
| التنسيق: | Книга |
|---|---|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | Перейти к просмотру издания |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| LEADER | 03062nam0a2200457 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/87722 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/87722.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20240904 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-9275-3083-0 | ||
| 205 | |a Лазеры в микро- и наноэлектронике |b 2025-01-01 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.01.2025 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20240904d2018 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Лазеры в микро- и наноэлектронике |e учебное пособие |f С. П. Малюков, А. В. Саенко, Ю. В. Клунникова, А. В. Палий | |
| 701 | 1 | |a Малюков, |b С. П. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Саенко, |b А. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Клунникова, |b Ю. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Палий, |b А. В. |4 070 | |
| 330 | |a Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий. | ||
| 210 | |a Ростов-на-Дону, Таганрог |c Издательство Южного федерального университета |d 2018 | ||
| 610 | 1 | |a лазер | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a наноэлектроника | |
| 610 | 1 | |a лазерное излучение | |
| 610 | 1 | |a твердотельный лазер | |
| 610 | 1 | |a газовый лазер | |
| 610 | 1 | |a полупроводниковый лазер | |
| 610 | 1 | |a лазерное окисление | |
| 610 | 1 | |a лазерный отжиг | |
| 610 | 1 | |a лазерное легирование | |
| 675 | |a 621.382 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 111 с. | ||