Компоненты микросистемной техники учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих...
Salvato in:
Autore principale: | |
---|---|
Natura: | Книга |
Soggetti: | |
Accesso online: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|