Компоненты микросистемной техники учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих...
Сохранить в:
主要作者: | |
---|---|
格式: | Книга |
主題: | |
在線閱讀: | Перейти к просмотру издания |
標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|
實物描述: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-7731-0799-6 |