Компоненты микросистемной техники учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих...
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | Книга |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | Перейти к просмотру издания |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
| LEADER | 02451nam0a2200373 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/93319 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/93319.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-7731-0799-6 | ||
| 205 | |a Компоненты микросистемной техники |b 2030-03-01 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.03.2030 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2019 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Компоненты микросистемной техники |e учебное пособие |f Г. И. Липатов | |
| 700 | 1 | |a Липатов, |b Г. И. |4 070 | |
| 330 | |a В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Компоненты микросистемной техники» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении». | ||
| 210 | |a Воронеж |c Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ |d 2019 | ||
| 610 | 1 | |a микросистемная техника | |
| 610 | 1 | |a МЭМС | |
| 610 | 1 | |a деформация | |
| 610 | 1 | |a электрод | |
| 610 | 1 | |a однослойная пластина | |
| 610 | 1 | |a многослойная структура | |
| 675 | |a 62 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 83 с. | ||