Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов...
Сохранить в:
Hovedforfatter: | Липатов, Г. И. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Fag: | |
Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
Lignende værker
-
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
af: Липатов, Г. И. - Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Васильев, В. Ю. -
Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Брусенцов, Ю. А. - Технология получения полимерных пленок из расплавов и методы исследования их свойств учебное пособие