Przejdź do treści

МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники

В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологическо...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
1. autor: Акчурин, Р. Х. (070)
Format: Книга
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:Перейти к просмотру издания
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!