МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологическо...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 主题: | |
| 在线阅读: | Перейти к просмотру издания |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|