Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | |
|---|---|
| বিন্যাস: | Книга |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | Перейти к просмотру издания |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|
| দৈহিক বর্ননা: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| আইসবিএন: | 978-5-94836-519-0 |