Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,...
Sábháilte in:
| Príomhchruthaitheoir: | |
|---|---|
| Formáid: | Книга |
| Ábhair: | |
| Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
| Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
| Cur síos fisiciúil: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-94836-519-0 |