Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,...
সংরক্ষণ করুন:
প্রধান লেখক: | |
---|---|
বিন্যাস: | Книга |
বিষয়গুলি: | |
অনলাইন ব্যবহার করুন: | Перейти к просмотру издания |
ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|