Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций курс лекций
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализ...
Сохранить в:
| Главный автор: | Кузнецов, Г. Д. (070) |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Схожие документы
- Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий учебно-методическое пособие
- Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы лабораторный практикум
- Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие
-
Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
Автор: Кожитов, Л. В. -
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
Автор: Светличный, А. М.