Основы технологии электронной компонентной базы практикум
Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантация. Ставит перед собой задачи объяснить физическую сущность используемых в микро- и наноэлектронике технологических проце...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03325nam0a2200397 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/98215 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/98215.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-87623-964-8 | ||
| 205 | |a Основы технологии электронной компонентной базы |b 2025-12-16 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 16.12.2025 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2016 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Основы технологии электронной компонентной базы |e практикум |f В. П. Астахов, С. А. Леготин, К. А. Кузьмина | |
| 700 | 1 | |a Астахов, |b В. П. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Леготин, |b С. А. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Кузьмина, |b К. А. |4 070 | |
| 330 | |a Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантация. Ставит перед собой задачи объяснить физическую сущность используемых в микро- и наноэлектронике технологических процессов, научить комплексному научному подходу к выбору методов и процессов формирования электронной компонентной базы, а также освоить методики расчета параметров технологических процессов. Результатом обучения должно быть приобретение компетенций по основным базовым процессам технологии для применения их в научных исследованиях, разработке и производстве изделий микро- и наноэлектроники. Практикум является составной частью курса «Основы технологии электронной компонентной базы» для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». | ||
| 210 | |a Москва |c Издательский Дом МИСиС |d 2016 | ||
| 610 | 1 | |a наноэлектроника | |
| 610 | 1 | |a диффузия | |
| 610 | 1 | |a ионная имплантация | |
| 610 | 1 | |a технологический процесс | |
| 610 | 1 | |a компонентная база | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 675 | |a 62 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 53 с. | ||