Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Wedi'i Gadw mewn:
Prif Awdur: | Васильев, В. Ю. (070) |
---|---|
Fformat: | Книга |
Pynciau: | |
Mynediad Ar-lein: | Перейти к просмотру издания |
Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|
Eitemau Tebyg
- Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
gan: Твердохлеб, П. Е. -
Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
gan: Брусенцов, Ю. А. -
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
gan: Берлин, Б. В. - Природа невоспроизводимости структуры и свойств материалов для микро- и наноэлектроники учебное пособие