Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Sábháilte in:
Príomhchruthaitheoir: | Васильев, В. Ю. (070) |
---|---|
Formáid: | Книга |
Ábhair: | |
Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
Míreanna comhchosúla
- Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
de réir: Твердохлеб, П. Е. -
Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
de réir: Брусенцов, Ю. А. -
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
de réir: Берлин, Б. В. - Природа невоспроизводимости структуры и свойств материалов для микро- и наноэлектроники учебное пособие