Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
में बचाया:
मुख्य लेखक: | Васильев, В. Ю. (070) |
---|---|
स्वरूप: | Книга |
विषय: | |
ऑनलाइन पहुंच: | Перейти к просмотру издания |
टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
समान संसाधन
- Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
द्वारा: Твердохлеб, П. Е. -
Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
द्वारा: Брусенцов, Ю. А. -
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
द्वारा: Берлин, Б. В. - Природа невоспроизводимости структуры и свойств материалов для микро- и наноэлектроники учебное пособие