इसे छोड़कर सामग्री पर बढ़ने के लिए

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...

पूर्ण विवरण

में बचाया:
ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Васильев, В. Ю. (070)
स्वरूप: Книга
विषय:
ऑनलाइन पहुंच:Перейти к просмотру издания
टैग : टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!

समान संसाधन