Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Kaydedildi:
Yazar: | Васильев, В. Ю. (070) |
---|---|
Materyal Türü: | Книга |
Konular: | |
Online Erişim: | Перейти к просмотру издания |
Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
Benzer Materyaller
- Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
Yazar:: Твердохлеб, П. Е. -
Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
Yazar:: Брусенцов, Ю. А. -
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Yazar:: Берлин, Б. В. - Природа невоспроизводимости структуры и свойств материалов для микро- и наноэлектроники учебное пособие