İçeriği atla

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...

Ful tanımlama

Kaydedildi:
Detaylı Bibliyografya
Yazar: Васильев, В. Ю. (070)
Materyal Türü: Книга
Konular:
Online Erişim:Перейти к просмотру издания
Etiketler: Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!

Benzer Materyaller