Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...

保存先:

書誌詳細
第一著者:	Васильев, В. Ю. (070)
フォーマット:	Книга
主題:	микроэлектроника наноэлектроника тонкая пленка неорганический материал газовая фаза
オンライン･アクセス:	Перейти к просмотру издания
タグ:	タグ追加タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!

類似資料

Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
著者:: Твердохлеб, П. Е.

Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Брусенцов, Ю. А.

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
著者:: Берлин, Б. В.

Природа невоспроизводимости структуры и свойств материалов для микро- и наноэлектроники учебное пособие

Современные проблемы микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Шелованова, Г. Н.

Гидрохимическое осаждение тонких пленок халькогенидов металлов практикум

Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие

Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Никифоров, И. К.

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Васильев В. Ю.
出版事項: (2019)

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
著者:: Васильев В.Ю

Материаловедение и технологии современных перспективных материалов практикум

Микро- и наноэлектроника учебное пособие
著者:: Драгунов, В. П.

Физические основы микроэлектроники и наноэлектроники. Физические основы элементной базы полупроводниковой электроники и работы полупроводниковых устройств учебное пособие для студентов бакалавриата по направлению подготовки 11.03.03 «проектирование и технология электронных средств»
著者:: Климовский, А. Б.

Технология интегральных микросхем учебное пособие
著者:: Смирнов, В. И.

Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
著者:: Липатов, Г. И.

Энергетическая релаксация квазичастиц в сверхпроводниковых пленках нитрида титана и легированных бором пленках алмаза монография

Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
著者:: Сысоев, И. А.

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике учебное пособие
著者:: Родионов, Ю. А.

Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
著者:: Липатов, Г. И.

Методы исследования процессов кристаллизации учебное пособие
著者:: Гармашов, С. И.

Нанотехнологии материалов и покрытий учебное пособие
著者:: Иванов, Н. Б.

Технология получения полимерных пленок из расплавов и методы исследования их свойств учебное пособие

Различные методы осреднения гетерогенных сред учебное пособие
著者:: Мишин, А. В.

Инженерное дело. Начала методологии научных исследований. Аспект электроники учебное пособие
著者:: Перинская, И. В.

Технология тонких пленок: практикум
著者:: Никулин Д. М.
出版事項: (2023)

Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
著者:: Антоненко С. В.
出版事項: (2008)

Физические основы наноэлектроники учебное пособие
著者:: Филиппов В. В.
出版事項: (2018)

Однофотонные детекторы видимого и инфракрасного диапазонов из тонких сверхпроводящих пленок NbN и α-MoSi монография
著者:: Корнеев, А. А.

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
著者:: Зеленин, В. А.

Композиционные покрытия с микро- и нанокерамическими фазами методические указания

Материалы и устройства наноэлектроники. Электроника после Мура
著者:: Белоус, А. И.

Гальваномагнитные свойства блочных и монокристаллических легированных плёнок висмута монография
著者:: Матвеев, Д. Ю.

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники учебное пособие
著者:: Данилина, Т. И.

Ресурсо- и энергосберегающие технологии и аппаратурное оформление процессов, сопровождающихся выделением газовой фазы монография
著者:: Сафин, Р. Г.

Технология получения полимерных пленок специального назначения и методы исследования их свойств учебное пособие

Micro- and Nanoelectronics учебное пособие
著者:: Голышева, М. Д.

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
著者:: Васильев В. Ю.
出版事項: (2024)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
著者:: Твердохлеб П. Е.
出版事項: (2019)