Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств
С развитием высоких технологий становится реальным выпуск трехмерных электронных устройств (ТЭУ), в том числе микронных и субмикронных многослойных схем. На основе классификации формирования ТЭУ на плоских (2D) и квазиобъемных (квази-3D) подложках рассмотрены основные принципы и характеристики техно...
Збережено в:
Автор: | |
---|---|
Формат: | Книга |
Предмети: | |
Онлайн доступ: | Перейти к просмотру издания |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|