Наноразмерные ионно-легированные структуры арсенида галлия для твердотельных СВЧ устройств учебное пособие
Ионная имплантация арсенида галлия позволяет изготавливать наноразмерные локальные активные, резистивные и изолирующие области в монокристаллическом и эпитаксиальном арсениде галлия в промышленной установке ионного легирования, где осуществляется изготовление элементов ИС СВЧ. Учебное пособие посвящ...
Na minha lista:
Autor principal: | |
---|---|
Formato: | Книга |
Assuntos: | |
Acesso em linha: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|