INVESTIGATION OF POSSIBILITY OF THE MISFIT DISLOCATION DENSITY REDUCTION IN GE/SI FILMS WITH A BUFFER LAYER
В работе исследована возможность улучшения качества гетероэпитаксиальных структур Ge/Si с буферным слоем. Показано, что при использовании подготовительного слоя, состоящего из наноостровков, зарощенных низкотемпературным буферным слоем, возможно проявление так называемого эффекта аннигиляции дислок...
में बचाया:
| मुख्य लेखकों: | , , , , , , , |
|---|---|
| स्वरूप: | Статья |
| भाषा: | Russian |
| प्रकाशित: |
Tver State University
2024
|
| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | https://dspace.ncfu.ru/handle/123456789/29291 |
| टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|