Перейти до змісту

INVESTIGATION OF POSSIBILITY OF THE MISFIT DISLOCATION DENSITY REDUCTION IN GE/SI FILMS WITH A BUFFER LAYER

В работе исследована возможность улучшения качества гетероэпитаксиальных структур Ge/Si с буферным слоем. Показано, что при использовании подготовительного слоя, состоящего из наноостровков, зарощенных низкотемпературным буферным слоем, возможно проявление так называемого эффекта аннигиляции дислок...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Автори: Lapin, V. A., Лапин, В. А., Kravtsov, A. A., Кравцов, А. А., Kuleshov, D. S., Кулешов, Д. С., Malyavin, F. F., Малявин, Ф. Ф.
Формат: Статья
Мова:Russian
Опубліковано: Tver State University 2024
Предмети:
Онлайн доступ:https://dspace.ncfu.ru/handle/123456789/29291
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!