Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates
The paper presents experimental study results of surface morphology and structural and optical properties of sapphire AlN films obtained by pulsed laser spraying. Method. Thin AlN films on sapphire were used as experimental samples. The preparation of AlN films was carried out using a combined insta...
שמור ב:
Главные авторы: | , , , , , |
---|---|
פורמט: | Статья |
שפה: | English |
יצא לאור: |
ITMO University
2020
|
נושאים: | |
גישה מקוונת: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/14698 |
תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|