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Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates

The paper presents experimental study results of surface morphology and structural and optical properties of sapphire AlN films obtained by pulsed laser spraying. Method. Thin AlN films on sapphire were used as experimental samples. The preparation of AlN films was carried out using a combined insta...

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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखकों: Devitsky, O. V., Девицкий, О. В., Nikulin, D. A., Никулин, Д. А., Sysoev, I. A., Сысоев, И. А.
स्वरूप: Статья
भाषा:English
प्रकाशित: ITMO University 2020
विषय:
ऑनलाइन पहुंच:https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/14698
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