Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates
The paper presents experimental study results of surface morphology and structural and optical properties of sapphire AlN films obtained by pulsed laser spraying. Method. Thin AlN films on sapphire were used as experimental samples. The preparation of AlN films was carried out using a combined insta...
Պահպանված է:
Հիմնական հեղինակներ: | , , , , , |
---|---|
Ձևաչափ: | Статья |
Լեզու: | English |
Հրապարակվել է: |
ITMO University
2020
|
Խորագրեր: | |
Առցանց հասանելիություն: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/14698 |
Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|