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Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates

The paper presents experimental study results of surface morphology and structural and optical properties of sapphire AlN films obtained by pulsed laser spraying. Method. Thin AlN films on sapphire were used as experimental samples. The preparation of AlN films was carried out using a combined insta...

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書誌詳細
主要な著者: Devitsky, O. V., Девицкий, О. В., Nikulin, D. A., Никулин, Д. А., Sysoev, I. A., Сысоев, И. А.
フォーマット: Статья
言語:English
出版事項: ITMO University 2020
主題:
オンライン・アクセス:https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/14698
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