Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates
The paper presents experimental study results of surface morphology and structural and optical properties of sapphire AlN films obtained by pulsed laser spraying. Method. Thin AlN films on sapphire were used as experimental samples. The preparation of AlN films was carried out using a combined insta...
Zapisane w:
| Główni autorzy: | , , , , , |
|---|---|
| Format: | Статья |
| Język: | English |
| Wydane: |
ITMO University
2020
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/14698 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|