Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
The results of an experimental study of the surface morphology and structural properties of thin films of gallium nitride on sapphire obtained by pulsed laser deposition are presented. Pulse laser sputtering of gallium nitride films was carried out by sputtering a liquid gallium target in an atmosph...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Статья |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
American Institute of Physics Inc.
2021
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/14768 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|