Անցեք բովանդակությանը

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire

The results of an experimental study of the effect of thermal annealing on the structure, surface morphology and optical properties of thin films of aluminum nitride on sapphire are presented. Thin films of aluminum nitride on sapphire with a thickness of 200 nm were annealed in air and in a nitroge...

Ամբողջական նկարագրություն

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Devitsky, O. V., Девицкий, О. В., Kravtsov, A. A., Кравцов, А. А., Sysoev, I. A., Сысоев, И. А.
Ձևաչափ: Статья
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: TVER STATE UNIV 2021
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/14833
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!