コンテンツを見る

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire

The results of an experimental study of the effect of thermal annealing on the structure, surface morphology and optical properties of thin films of aluminum nitride on sapphire are presented. Thin films of aluminum nitride on sapphire with a thickness of 200 nm were annealed in air and in a nitroge...

詳細記述

保存先:
書誌詳細
主要な著者: Devitsky, O. V., Девицкий, О. В., Kravtsov, A. A., Кравцов, А. А., Sysoev, I. A., Сысоев, И. А.
フォーマット: Статья
言語:Russian
出版事項: TVER STATE UNIV 2021
主題:
オンライン・アクセス:https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/14833
タグ: タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!