Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
The results of an experimental study of the effect of thermal annealing on the structure, surface morphology and optical properties of thin films of aluminum nitride on sapphire are presented. Thin films of aluminum nitride on sapphire with a thickness of 200 nm were annealed in air and in a nitroge...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Статья |
| Ngôn ngữ: | Russian |
| Được phát hành: |
TVER STATE UNIV
2021
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/14833 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|