Influence of magnetron sputtering conditions on the structure and surface morphology of InxGa1–xAs thin films on a GaAs (100) substrate
We present the results of the study of the structure and surface morphology of In x Ga1–x As thin films on a GaAs substrate. Thin films were obtained by magnetron sputtering from a specially formed In 0.45 Ga 0.55 As target in an argon atmosphere. The obtained samples of thin films were studied by...
Պահպանված է:
Հիմնական հեղինակներ: | , , , , , , , , , , , , , |
---|---|
Ձևաչափ: | Статья |
Լեզու: | Russian |
Հրապարակվել է: |
2023
|
Խորագրեր: | |
Առցանց հասանելիություն: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/22295 |
Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|