Influence of magnetron sputtering conditions on the structure and surface morphology of InxGa1–xAs thin films on a GaAs (100) substrate
We present the results of the study of the structure and surface morphology of In x Ga1–x As thin films on a GaAs substrate. Thin films were obtained by magnetron sputtering from a specially formed In 0.45 Ga 0.55 As target in an argon atmosphere. The obtained samples of thin films were studied by...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , , , , , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Статья |
| Ngôn ngữ: | Russian |
| Được phát hành: |
2023
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/22295 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|