Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method

Показать другие версии (1)

Research was performed on possibility of growth of heteroepitaxial aluminum nitride films on (0001) sapphire substrates within 210 to 300 degrees Celsius temperature range via plasma-enhanced atomic layer deposition. Samples created were studied by ellipsometry, x-ray diffraction analysis and rockin...

תיאור מלא

שמור ב:

מידע ביבליוגרפי
Главные авторы:	Tarala, V. A., Тарала, В. А., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Ambartsumov, M. G., Амбарцумов, М. Г., Martens, V. Y., Мартенс, В. Я., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю.
פורמט:	Статья
שפה:	English
יצא לאור:	Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. 2018
נושאים:	Aluminum coatings Atomic layer deposition Epitaxial growth Refractive index Oxide films Aluminum nitride
גישה מקוונת:	https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85017584082&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=1&nlr=20&nls=afprfnm-t&affilName=north+caucasus+federal+university&sid=4a2a77c64cce8892f9521d5be1c7d9a7&sot=afnl&sdt=sisr&sl=53&s=%28AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29%29&ref=%28Growth+of+heteroepitaxial+aluminium+nitride+films+on+aluminium+oxide+substrates+via+PEALD+method%29&relpos=0&citeCnt=0&searchTerm= https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3039
תגים:	הוספת תג אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!

פריטים דומים

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
מאת: Ambartsumov, M. G., и др.
יצא לאור: (2021)

The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles
מאת: Ambartsumov, M. G., и др.
יצא לאור: (2019)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
מאת: Devitsky, O. V., и др.
יצא לאור: (2020)

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
מאת: Devitsky, O. V., и др.
יצא לאור: (2021)

Optical spectroscopy of the Er3+ion in BaY2F8crystal and YSAG ceramics
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2022)

Sintering and microstructure evolution of Er1.5Y1.5-xScx+yAl5-yO12 garnet ceramics with scandium in dodecahedral and octahedral sites
מאת: Nikova, M. S., и др.
יצא לאור: (2022)

Judd-Ofelt Analysis of High Erbium Content Yttrium-Aluminum and Yttrium-Scandium-Aluminum Garnet Ceramics
מאת: Nikova, M. S., и др.
יצא לאור: (2022)

Optical properties of YSAG: Yb: Er ceramics with Sc3+ cations in the dodecahedral and octahedral positions of the garnet crystal lattice
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2024)

SYNTHESIS AND INVESTIGATION OF PROPERTIES OF COMPOSITE CERAMICS LuAG: Ce / Al2O3
מאת: Lapin, V. A., и др.
יצא לאור: (2024)

Synthesis of Y3Al5O12:Ce Powders for X-ray Luminescent Diamond Composites
מאת: Vakalov, D. S., и др.
יצא לאור: (2023)

Using silver nanoparticles for the increase of YAG: Ce luminescence
מאת: Kravtsov, A. A., и др.
יצא לאור: (2022)

Investigation of the Vacuum Sintering Kinetics of the Optical Luminescent Ceramic Y3–xScxAl5O12:Cr
מאת: Lapin, V. A., и др.
יצא לאור: (2024)

Impact of magnesium oxide concentration and yttrium-aluminum garnet stoichiometry deviation on the microstructure and optical transmission of yag-based ceramics
מאת: Malyavin, F. F., и др.
יצא לאור: (2022)

X-ray luminescence of diamond composite films containing yttrium-aluminum garnet nanoparticles with varied composition of Sc–Ce doping
מאת: Vakalov, D. S., и др.
יצא לאור: (2021)

The influence of Sc3+ions on fluorescence lifetime of Yb3+in Yb-doped yttrium scandium aluminum garnet (Yb:YSAG) ceramics
מאת: Nikova, M. S., и др.
יצא לאור: (2022)

Effect of different fluxes on YAG:Ce illumination engineering parameters
מאת: Shama, M. S., и др.
יצא לאור: (2018)

Diamond composite with embedded YAG:Ce nanoparticles as a source of fast X-ray luminescence in the visible and near-IR range
מאת: Vakalov, D. S., и др.
יצא לאור: (2021)

Morphofunctional condition of bones and hippocampus of white rats at experimental intoxication with aluminium chloride
מאת: Timchenko, L. D., и др.
יצא לאור: (2018)

The impact of yttrium aluminum garnet stoichiometry deviation on the conversion efficiency of tetravalent chromium ions
מאת: Malyavin, F. F., и др.
יצא לאור: (2022)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
מאת: Devitsky, O. V., и др.
יצא לאור: (2021)

Influence of the preparation "Nicavet-1000" on a morphofunctional condition of some organs of rats at experimental aluminium intoxication
מאת: Timchenko, L. D., и др.
יצא לאור: (2018)

Determination of the complex refractive index of nanoparticulate magnetite from optical anisotropy data for magnetic colloids
מאת: Yerin K. V., и др.
יצא לאור: (2022)

Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates
מאת: Devitsky, O. V., и др.
יצא לאור: (2020)

SPECTRAL DEPENDENCIES OF MAGNETOOPTICAL EFFECTS IN MAGNETIC FLUIDS
מאת: Yerin K. V., и др.
יצא לאור: (2022)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Algorithm for the Joint Flight of Two Uncrewed Aerial Vehicles Constituting a Bistatic Radar System for the Soil Remote Sensing
מאת: Linets, G. I., и др.
יצא לאור: (2023)

Electrically controlled reflection from a thin film at a glycerin-magnetic-liquid boundary
מאת: Chekanov, V. V., и др.
יצא לאור: (2019)

Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films
מאת: Altakhov, A. S., и др.
יצא לאור: (2018)

Epitaxial growth of GaInAsBi thin films on Si (001) substrate using pulsed laser deposition
מאת: Pashchenko, A. S., и др.
יצא לאור: (2024)

Growth of nanotextured thin films of GaInAsP and GaInAsSbBi solid solutions on GaP substrates by pulsed laser deposition
מאת: Pashchenko, A. S., и др.
יצא לאור: (2023)

Growth of Man — like Growth of Nature
מאת: Emily E. D.
יצא לאור: (2013)

The complex compaction method of an unstable loess substrate
מאת: Steshenko, D. M., и др.
יצא לאור: (2018)

Improved road embankment loess substrate under earthquake hazards
מאת: Steshenko, D. M.
יצא לאור: (2019)

Perspectives of economic growth of Russia in the conditions of information society
מאת: Novikova, I. V., и др.
יצא לאור: (2018)

THE GROWTH OF INALN/ SI HETEROSTRUCTURES WITH A HIGH CONTENT OF IN
מאת: Lapin, V. A., и др.
יצא לאור: (2023)