Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method

Показати інші версії (1)

Research was performed on possibility of growth of heteroepitaxial aluminum nitride films on (0001) sapphire substrates within 210 to 300 degrees Celsius temperature range via plasma-enhanced atomic layer deposition. Samples created were studied by ellipsometry, x-ray diffraction analysis and rockin...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Автори:	Tarala, V. A., Тарала, В. А., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Ambartsumov, M. G., Амбарцумов, М. Г., Martens, V. Y., Мартенс, В. Я., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю.
Формат:	Статья
Мова:	English
Опубліковано:	Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. 2018
Предмети:	Aluminum coatings Atomic layer deposition Epitaxial growth Refractive index Oxide films Aluminum nitride
Онлайн доступ:	https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85017584082&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=1&nlr=20&nls=afprfnm-t&affilName=north+caucasus+federal+university&sid=4a2a77c64cce8892f9521d5be1c7d9a7&sot=afnl&sdt=sisr&sl=53&s=%28AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29%29&ref=%28Growth+of+heteroepitaxial+aluminium+nitride+films+on+aluminium+oxide+substrates+via+PEALD+method%29&relpos=0&citeCnt=0&searchTerm= https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3039
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!

Схожі ресурси

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
за авторством: Tarala, V. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition
за авторством: Tarala, V. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
за авторством: Tarala, V. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
за авторством: Tarala, V. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
за авторством: Ambartsumov, M. G., та інші
Опубліковано: (2021)

The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles
за авторством: Ambartsumov, M. G., та інші
Опубліковано: (2019)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
за авторством: Devitsky, O. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
за авторством: Devitsky, O. V., та інші
Опубліковано: (2021)

Optical spectroscopy of the Er3+ion in BaY2F8crystal and YSAG ceramics
за авторством: Tarala, V. A., та інші
Опубліковано: (2022)

Sintering and microstructure evolution of Er1.5Y1.5-xScx+yAl5-yO12 garnet ceramics with scandium in dodecahedral and octahedral sites
за авторством: Nikova, M. S., та інші
Опубліковано: (2022)

Judd-Ofelt Analysis of High Erbium Content Yttrium-Aluminum and Yttrium-Scandium-Aluminum Garnet Ceramics
за авторством: Nikova, M. S., та інші
Опубліковано: (2022)

Optical properties of YSAG: Yb: Er ceramics with Sc3+ cations in the dodecahedral and octahedral positions of the garnet crystal lattice
за авторством: Tarala, V. A., та інші
Опубліковано: (2024)

SYNTHESIS AND INVESTIGATION OF PROPERTIES OF COMPOSITE CERAMICS LuAG: Ce / Al2O3
за авторством: Lapin, V. A., та інші
Опубліковано: (2024)

Synthesis of Y3Al5O12:Ce Powders for X-ray Luminescent Diamond Composites
за авторством: Vakalov, D. S., та інші
Опубліковано: (2023)

Using silver nanoparticles for the increase of YAG: Ce luminescence
за авторством: Kravtsov, A. A., та інші
Опубліковано: (2022)

Investigation of the Vacuum Sintering Kinetics of the Optical Luminescent Ceramic Y3–xScxAl5O12:Cr
за авторством: Lapin, V. A., та інші
Опубліковано: (2024)

Impact of magnesium oxide concentration and yttrium-aluminum garnet stoichiometry deviation on the microstructure and optical transmission of yag-based ceramics
за авторством: Malyavin, F. F., та інші
Опубліковано: (2022)

X-ray luminescence of diamond composite films containing yttrium-aluminum garnet nanoparticles with varied composition of Sc–Ce doping
за авторством: Vakalov, D. S., та інші
Опубліковано: (2021)

The influence of Sc3+ions on fluorescence lifetime of Yb3+in Yb-doped yttrium scandium aluminum garnet (Yb:YSAG) ceramics
за авторством: Nikova, M. S., та інші
Опубліковано: (2022)

Effect of different fluxes on YAG:Ce illumination engineering parameters
за авторством: Shama, M. S., та інші
Опубліковано: (2018)

Diamond composite with embedded YAG:Ce nanoparticles as a source of fast X-ray luminescence in the visible and near-IR range
за авторством: Vakalov, D. S., та інші
Опубліковано: (2021)

Morphofunctional condition of bones and hippocampus of white rats at experimental intoxication with aluminium chloride
за авторством: Timchenko, L. D., та інші
Опубліковано: (2018)

The impact of yttrium aluminum garnet stoichiometry deviation on the conversion efficiency of tetravalent chromium ions
за авторством: Malyavin, F. F., та інші
Опубліковано: (2022)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
за авторством: Devitsky, O. V., та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of the preparation "Nicavet-1000" on a morphofunctional condition of some organs of rats at experimental aluminium intoxication
за авторством: Timchenko, L. D., та інші
Опубліковано: (2018)

Determination of the complex refractive index of nanoparticulate magnetite from optical anisotropy data for magnetic colloids
за авторством: Yerin K. V., та інші
Опубліковано: (2022)

Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates
за авторством: Devitsky, O. V., та інші
Опубліковано: (2020)

SPECTRAL DEPENDENCIES OF MAGNETOOPTICAL EFFECTS IN MAGNETIC FLUIDS
за авторством: Yerin K. V., та інші
Опубліковано: (2022)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
за авторством: Tarala, V. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
за авторством: Tarala, V. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Algorithm for the Joint Flight of Two Uncrewed Aerial Vehicles Constituting a Bistatic Radar System for the Soil Remote Sensing
за авторством: Linets, G. I., та інші
Опубліковано: (2023)

Electrically controlled reflection from a thin film at a glycerin-magnetic-liquid boundary
за авторством: Chekanov, V. V., та інші
Опубліковано: (2019)

Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films
за авторством: Altakhov, A. S., та інші
Опубліковано: (2018)

Epitaxial growth of GaInAsBi thin films on Si (001) substrate using pulsed laser deposition
за авторством: Pashchenko, A. S., та інші
Опубліковано: (2024)

Growth of nanotextured thin films of GaInAsP and GaInAsSbBi solid solutions on GaP substrates by pulsed laser deposition
за авторством: Pashchenko, A. S., та інші
Опубліковано: (2023)

Growth of Man — like Growth of Nature
за авторством: Emily E. D.
Опубліковано: (2013)

The complex compaction method of an unstable loess substrate
за авторством: Steshenko, D. M., та інші
Опубліковано: (2018)

Improved road embankment loess substrate under earthquake hazards
за авторством: Steshenko, D. M.
Опубліковано: (2019)

Perspectives of economic growth of Russia in the conditions of information society
за авторством: Novikova, I. V., та інші
Опубліковано: (2018)

THE GROWTH OF INALN/ SI HETEROSTRUCTURES WITH A HIGH CONTENT OF IN
за авторством: Lapin, V. A., та інші
Опубліковано: (2023)