Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method

Hiển thị phiên bản (1) khác

Research was performed on possibility of growth of heteroepitaxial aluminum nitride films on (0001) sapphire substrates within 210 to 300 degrees Celsius temperature range via plasma-enhanced atomic layer deposition. Samples created were studied by ellipsometry, x-ray diffraction analysis and rockin...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:

Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính:	Tarala, V. A., Тарала, В. А., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Ambartsumov, M. G., Амбарцумов, М. Г., Martens, V. Y., Мартенс, В. Я., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю.
Định dạng:	Статья
Ngôn ngữ:	English
Được phát hành:	Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. 2018
Những chủ đề:	Aluminum coatings Atomic layer deposition Epitaxial growth Refractive index Oxide films Aluminum nitride
Truy cập trực tuyến:	https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85017584082&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=1&nlr=20&nls=afprfnm-t&affilName=north+caucasus+federal+university&sid=4a2a77c64cce8892f9521d5be1c7d9a7&sot=afnl&sdt=sisr&sl=53&s=%28AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29%29&ref=%28Growth+of+heteroepitaxial+aluminium+nitride+films+on+aluminium+oxide+substrates+via+PEALD+method%29&relpos=0&citeCnt=0&searchTerm= https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3039
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Những quyển sách tương tự

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
Bằng: Ambartsumov, M. G., et al.
Được phát hành: (2021)

The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles
Bằng: Ambartsumov, M. G., et al.
Được phát hành: (2019)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2020)

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2021)

Optical spectroscopy of the Er3+ion in BaY2F8crystal and YSAG ceramics
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2022)

Sintering and microstructure evolution of Er1.5Y1.5-xScx+yAl5-yO12 garnet ceramics with scandium in dodecahedral and octahedral sites
Bằng: Nikova, M. S., et al.
Được phát hành: (2022)

Judd-Ofelt Analysis of High Erbium Content Yttrium-Aluminum and Yttrium-Scandium-Aluminum Garnet Ceramics
Bằng: Nikova, M. S., et al.
Được phát hành: (2022)

Optical properties of YSAG: Yb: Er ceramics with Sc3+ cations in the dodecahedral and octahedral positions of the garnet crystal lattice
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2024)

SYNTHESIS AND INVESTIGATION OF PROPERTIES OF COMPOSITE CERAMICS LuAG: Ce / Al2O3
Bằng: Lapin, V. A., et al.
Được phát hành: (2024)

Synthesis of Y3Al5O12:Ce Powders for X-ray Luminescent Diamond Composites
Bằng: Vakalov, D. S., et al.
Được phát hành: (2023)

Using silver nanoparticles for the increase of YAG: Ce luminescence
Bằng: Kravtsov, A. A., et al.
Được phát hành: (2022)

Investigation of the Vacuum Sintering Kinetics of the Optical Luminescent Ceramic Y3–xScxAl5O12:Cr
Bằng: Lapin, V. A., et al.
Được phát hành: (2024)

Impact of magnesium oxide concentration and yttrium-aluminum garnet stoichiometry deviation on the microstructure and optical transmission of yag-based ceramics
Bằng: Malyavin, F. F., et al.
Được phát hành: (2022)

X-ray luminescence of diamond composite films containing yttrium-aluminum garnet nanoparticles with varied composition of Sc–Ce doping
Bằng: Vakalov, D. S., et al.
Được phát hành: (2021)

The influence of Sc3+ions on fluorescence lifetime of Yb3+in Yb-doped yttrium scandium aluminum garnet (Yb:YSAG) ceramics
Bằng: Nikova, M. S., et al.
Được phát hành: (2022)

Effect of different fluxes on YAG:Ce illumination engineering parameters
Bằng: Shama, M. S., et al.
Được phát hành: (2018)

Diamond composite with embedded YAG:Ce nanoparticles as a source of fast X-ray luminescence in the visible and near-IR range
Bằng: Vakalov, D. S., et al.
Được phát hành: (2021)

Morphofunctional condition of bones and hippocampus of white rats at experimental intoxication with aluminium chloride
Bằng: Timchenko, L. D., et al.
Được phát hành: (2018)

The impact of yttrium aluminum garnet stoichiometry deviation on the conversion efficiency of tetravalent chromium ions
Bằng: Malyavin, F. F., et al.
Được phát hành: (2022)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2021)

Influence of the preparation "Nicavet-1000" on a morphofunctional condition of some organs of rats at experimental aluminium intoxication
Bằng: Timchenko, L. D., et al.
Được phát hành: (2018)

Determination of the complex refractive index of nanoparticulate magnetite from optical anisotropy data for magnetic colloids
Bằng: Yerin K. V., et al.
Được phát hành: (2022)

Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2020)

SPECTRAL DEPENDENCIES OF MAGNETOOPTICAL EFFECTS IN MAGNETIC FLUIDS
Bằng: Yerin K. V., et al.
Được phát hành: (2022)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Algorithm for the Joint Flight of Two Uncrewed Aerial Vehicles Constituting a Bistatic Radar System for the Soil Remote Sensing
Bằng: Linets, G. I., et al.
Được phát hành: (2023)

Electrically controlled reflection from a thin film at a glycerin-magnetic-liquid boundary
Bằng: Chekanov, V. V., et al.
Được phát hành: (2019)

Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films
Bằng: Altakhov, A. S., et al.
Được phát hành: (2018)

Epitaxial growth of GaInAsBi thin films on Si (001) substrate using pulsed laser deposition
Bằng: Pashchenko, A. S., et al.
Được phát hành: (2024)

Growth of nanotextured thin films of GaInAsP and GaInAsSbBi solid solutions on GaP substrates by pulsed laser deposition
Bằng: Pashchenko, A. S., et al.
Được phát hành: (2023)

Growth of Man — like Growth of Nature
Bằng: Emily E. D.
Được phát hành: (2013)

The complex compaction method of an unstable loess substrate
Bằng: Steshenko, D. M., et al.
Được phát hành: (2018)

Improved road embankment loess substrate under earthquake hazards
Bằng: Steshenko, D. M.
Được phát hành: (2019)

Perspectives of economic growth of Russia in the conditions of information society
Bằng: Novikova, I. V., et al.
Được phát hành: (2018)

THE GROWTH OF INALN/ SI HETEROSTRUCTURES WITH A HIGH CONTENT OF IN
Bằng: Lapin, V. A., et al.
Được phát hành: (2023)