Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures

Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures

The possibility of using plasma enhanced atomic layer deposition method for growing heteroepitaxial oriented AlN films on Si (100) and sapphire (001) substrates at temperatures less than 300 °C was investigated. The resulting samples were studied by X-ray diffraction analysis and ellipsometry. It ha...

وصف كامل

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Tarala, V. A., Тарала, В. А., Ambartsumov, M. G., Амбарцумов, М. Г., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Martens, V. Y., Мартенс, В. Я., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю.
التنسيق:	Статья
اللغة:	English
منشور في:	Elsevier B.V. 2018
الموضوعات:	A1. X-ray diffraction A3. Atomic layer epitaxy B1. Nitrides B2. Semiconducting aluminum compounds B2. Semiconducting III-V materials Aluminum nitride Aluminum coatings Atoms
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85008690050&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=&nlr=&nls=&sid=2d4e826478140d99650a215e37019390&sot=aff&sdt=cl&cluster=scopubyr%2c%222016%22%2ct&sl=174&s=AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29+OR+AF-ID%28%22Stavropol+State+University%22+60070961%29+OR+AF-ID%28%22stavropolskij+Gosudarstvennyj+Tehniceskij+Universitet%22+60026323%29&relpos=4&citeCnt=3&searchTerm= https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3166
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة

Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition
بواسطة: Tarala, V. A., وآخرون
منشور في: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
بواسطة: Tarala, V. A., وآخرون
منشور في: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
بواسطة: Tarala, V. A., وآخرون
منشور في: (2018)

Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
بواسطة: Tarala, V. A., وآخرون
منشور في: (2018)

The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles
بواسطة: Ambartsumov, M. G., وآخرون
منشور في: (2019)

Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
بواسطة: Ambartsumov, M. G., وآخرون
منشور في: (2021)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
بواسطة: Devitsky, O. V., وآخرون
منشور في: (2020)

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
بواسطة: Devitsky, O. V., وآخرون
منشور في: (2021)

Unusual cyclization of N-imidazolyl quinone imines with the formation of thiadiazole ring and its subsequent recyclization
بواسطة: Demidov, O. P., وآخرون
منشور في: (2022)

Empirical determination of the degree of analgesic activity of some new 3-aminothieno[2,3-b]pyridines and 1,4-dihydropyridines based on a complex criterion
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2023)

Synthesis and Cyclizations of N-(Thieno[2,3-b]pyridin-3-yl)cyanoacetamides
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2019)

New Heterocyclization Reactions with Malononitrile Dimer
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2024)

Synthesis of new polycyclic compounds containing thieno[2′,3′:5,6]pyrimido[2,1-a]isoindole fragment
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2021)

Numerical simulation of functional characteristics of solar elements ingaasn/si
بواسطة: Sanakulov, S. O., وآخرون
منشور في: (2021)

Novel synthetic approach to pyrrolo[1,2-b]cinnolines
بواسطة: Demidov, O. P., وآخرون
منشور في: (2020)

Synthesis and analgesic activity of new heterocyclic cyanothioacetamide derivatives
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2021)

Divergent Transformations of 2-Nitro-1H-benzo[f]chromenes in Reactions with Alkylidenemalononitriles: Access to Naphtho[2,1-b]furans via Base-Mediated Pyran Ring Contraction
بواسطة: Demidov, O. P., وآخرون
منشور في: (2024)

Reaction of N,N′-Diphenyldithiomalondiamide with Aromatic Aldehydes and Cyanoacetamide
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2023)

New type of recyclization in 3,4-dihydroisoquinolines in the synthesis of β-(o-indazolylaryl)ethylamines and their 7-azaindazolyl analogues
بواسطة: Demidov, O. P., وآخرون
منشور في: (2022)

Judd-Ofelt Analysis of High Erbium Content Yttrium-Aluminum and Yttrium-Scandium-Aluminum Garnet Ceramics
بواسطة: Nikova, M. S., وآخرون
منشور في: (2022)

Synthesis and properties of 4,6-Dimethyl-5-pentyl-2-thioxo-1,2-dihydropyridine-3-carbonitrile and 3-Amino-4,6-dimethyl-5-pentylthieno[2,3-b]pyridines
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2019)

A facile synthesis of 1-oxo-pyrrolo[2,1-a]isoquinolines
بواسطة: Aksenov, A. V., وآخرون
منشور في: (2018)

A facile synthesis of 1-oxo-pyrrolo[2,1-a]isoquinolines
بواسطة: Aksenov, A. V., وآخرون
منشور في: (2018)

Reaction of thieno[2,3-b]pyridines with sodium hypochlorite: An unusual and stereoselective one-pot approach to dimeric pyrrolo[2′,3′:4,5]thieno[2,3-b]pyridines
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2019)

BLOCKCHAIN IMPACT ON THE B2B SALES MARKET
بواسطة: Bondarenko, N. G., وآخرون
منشور في: (2021)

Crystal structure and properties of new benzimidazopyrido[2,3-b]indole-6-carbonitriles
بواسطة: Demidov, O. P., وآخرون
منشور في: (2024)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
بواسطة: Devitsky, O. V., وآخرون
منشور في: (2021)

Novel recyclization of 3,4-dihydroisoquinolines as an efficient route to a new type of heteroarylated derivatives of β-arylethylamines
بواسطة: Demidov, O. P., وآخرون
منشور في: (2023)

SYNTHESIS AND STUDY OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE COLLOIDAL FORM OF IRON WITH RIBOFLAVIN AND L-LYSINE
بواسطة: Blinov, A. V., وآخرون
منشور في: (2024)

Alkyl 4-Aryl-6-amino-7- phenyl-3-(phenylimino)-4,7-dihydro- 3H-[1,2]dithiolo[3,4-b]pyridine-5-carboxylates: Synthesis and Agrochemical Studies
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2023)

An access to 1H-cyclopenta[b]pyridine-4,5-diones via condensation of 6-nitro-1,2-o-quinone with arylamines and acetone
بواسطة: Demidov, O. P., وآخرون
منشور في: (2021)

Цифровая экономика. Электронный бизнес и электронная коммерция
بواسطة: Сковиков А. Г.
منشور في: (2022)

Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films
بواسطة: Altakhov, A. S., وآخرون
منشور في: (2018)

Mannich Reaction Involving 6-Amino-4-methyl-2-(thio)oxo-1,2-dihydropyridine-3,5-dicarbonitriles
بواسطة: Strelkov, V. D., وآخرون
منشور في: (2023)

1,6-Diamino-2-oxopyridine-3,5-dicarbonitrile Derivatives in the Mannich Reaction
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2021)

A new Approach to the synthesis of functional derivatives of 3-(4-Pyridinyl)-1H-indole and 4-s(1H-Indol-3-yl)thieno[2,3-b]pyridine
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
بواسطة: Tarala, V. A., وآخرون
منشور في: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
بواسطة: Tarala, V. A., وآخرون
منشور في: (2018)

Reaction of 3-Amino-4,6-diarylthieno[2,3-b]pyridine-2-carboxamides with Ninhydrin
بواسطة: Dotsenko, V. V., وآخرون
منشور في: (2020)

Английский для студентов-биологов: микология = English for biology students: mycology учебное пособие
بواسطة: Пескова, И. М.