Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures

Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures

The possibility of using plasma enhanced atomic layer deposition method for growing heteroepitaxial oriented AlN films on Si (100) and sapphire (001) substrates at temperatures less than 300 °C was investigated. The resulting samples were studied by X-ray diffraction analysis and ellipsometry. It ha...

תיאור מלא

שמור ב:

מידע ביבליוגרפי
Главные авторы:	Tarala, V. A., Тарала, В. А., Ambartsumov, M. G., Амбарцумов, М. Г., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Martens, V. Y., Мартенс, В. Я., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю.
פורמט:	Статья
שפה:	English
יצא לאור:	Elsevier B.V. 2018
נושאים:	A1. X-ray diffraction A3. Atomic layer epitaxy B1. Nitrides B2. Semiconducting aluminum compounds B2. Semiconducting III-V materials Aluminum nitride Aluminum coatings Atoms
גישה מקוונת:	https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85008690050&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=&nlr=&nls=&sid=2d4e826478140d99650a215e37019390&sot=aff&sdt=cl&cluster=scopubyr%2c%222016%22%2ct&sl=174&s=AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29+OR+AF-ID%28%22Stavropol+State+University%22+60070961%29+OR+AF-ID%28%22stavropolskij+Gosudarstvennyj+Tehniceskij+Universitet%22+60026323%29&relpos=4&citeCnt=3&searchTerm= https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3166
תגים:	הוספת תג אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!

פריטים דומים

Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles
מאת: Ambartsumov, M. G., и др.
יצא לאור: (2019)

Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
מאת: Ambartsumov, M. G., и др.
יצא לאור: (2021)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
מאת: Devitsky, O. V., и др.
יצא לאור: (2020)

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
מאת: Devitsky, O. V., и др.
יצא לאור: (2021)

Unusual cyclization of N-imidazolyl quinone imines with the formation of thiadiazole ring and its subsequent recyclization
מאת: Demidov, O. P., и др.
יצא לאור: (2022)

Empirical determination of the degree of analgesic activity of some new 3-aminothieno[2,3-b]pyridines and 1,4-dihydropyridines based on a complex criterion
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2023)

Synthesis and Cyclizations of N-(Thieno[2,3-b]pyridin-3-yl)cyanoacetamides
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2019)

New Heterocyclization Reactions with Malononitrile Dimer
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2024)

Synthesis of new polycyclic compounds containing thieno[2′,3′:5,6]pyrimido[2,1-a]isoindole fragment
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2021)

Numerical simulation of functional characteristics of solar elements ingaasn/si
מאת: Sanakulov, S. O., и др.
יצא לאור: (2021)

Novel synthetic approach to pyrrolo[1,2-b]cinnolines
מאת: Demidov, O. P., и др.
יצא לאור: (2020)

Synthesis and analgesic activity of new heterocyclic cyanothioacetamide derivatives
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2021)

Divergent Transformations of 2-Nitro-1H-benzo[f]chromenes in Reactions with Alkylidenemalononitriles: Access to Naphtho[2,1-b]furans via Base-Mediated Pyran Ring Contraction
מאת: Demidov, O. P., и др.
יצא לאור: (2024)

Reaction of N,N′-Diphenyldithiomalondiamide with Aromatic Aldehydes and Cyanoacetamide
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2023)

New type of recyclization in 3,4-dihydroisoquinolines in the synthesis of β-(o-indazolylaryl)ethylamines and their 7-azaindazolyl analogues
מאת: Demidov, O. P., и др.
יצא לאור: (2022)

Judd-Ofelt Analysis of High Erbium Content Yttrium-Aluminum and Yttrium-Scandium-Aluminum Garnet Ceramics
מאת: Nikova, M. S., и др.
יצא לאור: (2022)

Synthesis and properties of 4,6-Dimethyl-5-pentyl-2-thioxo-1,2-dihydropyridine-3-carbonitrile and 3-Amino-4,6-dimethyl-5-pentylthieno[2,3-b]pyridines
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2019)

A facile synthesis of 1-oxo-pyrrolo[2,1-a]isoquinolines
מאת: Aksenov, A. V., и др.
יצא לאור: (2018)

A facile synthesis of 1-oxo-pyrrolo[2,1-a]isoquinolines
מאת: Aksenov, A. V., и др.
יצא לאור: (2018)

Reaction of thieno[2,3-b]pyridines with sodium hypochlorite: An unusual and stereoselective one-pot approach to dimeric pyrrolo[2′,3′:4,5]thieno[2,3-b]pyridines
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2019)

BLOCKCHAIN IMPACT ON THE B2B SALES MARKET
מאת: Bondarenko, N. G., и др.
יצא לאור: (2021)

Crystal structure and properties of new benzimidazopyrido[2,3-b]indole-6-carbonitriles
מאת: Demidov, O. P., и др.
יצא לאור: (2024)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
מאת: Devitsky, O. V., и др.
יצא לאור: (2021)

Novel recyclization of 3,4-dihydroisoquinolines as an efficient route to a new type of heteroarylated derivatives of β-arylethylamines
מאת: Demidov, O. P., и др.
יצא לאור: (2023)

SYNTHESIS AND STUDY OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE COLLOIDAL FORM OF IRON WITH RIBOFLAVIN AND L-LYSINE
מאת: Blinov, A. V., и др.
יצא לאור: (2024)

Alkyl 4-Aryl-6-amino-7- phenyl-3-(phenylimino)-4,7-dihydro- 3H-[1,2]dithiolo[3,4-b]pyridine-5-carboxylates: Synthesis and Agrochemical Studies
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2023)

An access to 1H-cyclopenta[b]pyridine-4,5-diones via condensation of 6-nitro-1,2-o-quinone with arylamines and acetone
מאת: Demidov, O. P., и др.
יצא לאור: (2021)

Цифровая экономика. Электронный бизнес и электронная коммерция
מאת: Сковиков А. Г.
יצא לאור: (2022)

Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films
מאת: Altakhov, A. S., и др.
יצא לאור: (2018)

Mannich Reaction Involving 6-Amino-4-methyl-2-(thio)oxo-1,2-dihydropyridine-3,5-dicarbonitriles
מאת: Strelkov, V. D., и др.
יצא לאור: (2023)

1,6-Diamino-2-oxopyridine-3,5-dicarbonitrile Derivatives in the Mannich Reaction
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2021)

A new Approach to the synthesis of functional derivatives of 3-(4-Pyridinyl)-1H-indole and 4-s(1H-Indol-3-yl)thieno[2,3-b]pyridine
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
מאת: Tarala, V. A., и др.
יצא לאור: (2018)

Reaction of 3-Amino-4,6-diarylthieno[2,3-b]pyridine-2-carboxamides with Ninhydrin
מאת: Dotsenko, V. V., и др.
יצא לאור: (2020)

Английский для студентов-биологов: микология = English for biology students: mycology учебное пособие
מאת: Пескова, И. М.