Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures

Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures

The possibility of using plasma enhanced atomic layer deposition method for growing heteroepitaxial oriented AlN films on Si (100) and sapphire (001) substrates at temperatures less than 300 °C was investigated. The resulting samples were studied by X-ray diffraction analysis and ellipsometry. It ha...

Ամբողջական նկարագրություն

Պահպանված է:

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ:	Tarala, V. A., Тарала, В. А., Ambartsumov, M. G., Амбарцумов, М. Г., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Martens, V. Y., Мартенс, В. Я., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю.
Ձևաչափ:	Статья
Լեզու:	English
Հրապարակվել է:	Elsevier B.V. 2018
Խորագրեր:	A1. X-ray diffraction A3. Atomic layer epitaxy B1. Nitrides B2. Semiconducting aluminum compounds B2. Semiconducting III-V materials Aluminum nitride Aluminum coatings Atoms
Առցանց հասանելիություն:	https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85008690050&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=&nlr=&nls=&sid=2d4e826478140d99650a215e37019390&sot=aff&sdt=cl&cluster=scopubyr%2c%222016%22%2ct&sl=174&s=AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29+OR+AF-ID%28%22Stavropol+State+University%22+60070961%29+OR+AF-ID%28%22stavropolskij+Gosudarstvennyj+Tehniceskij+Universitet%22+60026323%29&relpos=4&citeCnt=3&searchTerm= https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3166
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!

Նմանատիպ նյութեր

Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles
: Ambartsumov, M. G., և այլն
Հրապարակվել է: (2019)

Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
: Ambartsumov, M. G., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
: Devitsky, O. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2020)

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
: Devitsky, O. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Unusual cyclization of N-imidazolyl quinone imines with the formation of thiadiazole ring and its subsequent recyclization
: Demidov, O. P., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

Empirical determination of the degree of analgesic activity of some new 3-aminothieno[2,3-b]pyridines and 1,4-dihydropyridines based on a complex criterion
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

Synthesis and Cyclizations of N-(Thieno[2,3-b]pyridin-3-yl)cyanoacetamides
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2019)

New Heterocyclization Reactions with Malononitrile Dimer
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2024)

Synthesis of new polycyclic compounds containing thieno[2′,3′:5,6]pyrimido[2,1-a]isoindole fragment
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Numerical simulation of functional characteristics of solar elements ingaasn/si
: Sanakulov, S. O., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Novel synthetic approach to pyrrolo[1,2-b]cinnolines
: Demidov, O. P., և այլն
Հրապարակվել է: (2020)

Synthesis and analgesic activity of new heterocyclic cyanothioacetamide derivatives
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Divergent Transformations of 2-Nitro-1H-benzo[f]chromenes in Reactions with Alkylidenemalononitriles: Access to Naphtho[2,1-b]furans via Base-Mediated Pyran Ring Contraction
: Demidov, O. P., և այլն
Հրապարակվել է: (2024)

Reaction of N,N′-Diphenyldithiomalondiamide with Aromatic Aldehydes and Cyanoacetamide
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

New type of recyclization in 3,4-dihydroisoquinolines in the synthesis of β-(o-indazolylaryl)ethylamines and their 7-azaindazolyl analogues
: Demidov, O. P., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

Judd-Ofelt Analysis of High Erbium Content Yttrium-Aluminum and Yttrium-Scandium-Aluminum Garnet Ceramics
: Nikova, M. S., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

Synthesis and properties of 4,6-Dimethyl-5-pentyl-2-thioxo-1,2-dihydropyridine-3-carbonitrile and 3-Amino-4,6-dimethyl-5-pentylthieno[2,3-b]pyridines
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2019)

A facile synthesis of 1-oxo-pyrrolo[2,1-a]isoquinolines
: Aksenov, A. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

A facile synthesis of 1-oxo-pyrrolo[2,1-a]isoquinolines
: Aksenov, A. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Reaction of thieno[2,3-b]pyridines with sodium hypochlorite: An unusual and stereoselective one-pot approach to dimeric pyrrolo[2′,3′:4,5]thieno[2,3-b]pyridines
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2019)

BLOCKCHAIN IMPACT ON THE B2B SALES MARKET
: Bondarenko, N. G., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Crystal structure and properties of new benzimidazopyrido[2,3-b]indole-6-carbonitriles
: Demidov, O. P., և այլն
Հրապարակվել է: (2024)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
: Devitsky, O. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Novel recyclization of 3,4-dihydroisoquinolines as an efficient route to a new type of heteroarylated derivatives of β-arylethylamines
: Demidov, O. P., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

SYNTHESIS AND STUDY OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE COLLOIDAL FORM OF IRON WITH RIBOFLAVIN AND L-LYSINE
: Blinov, A. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2024)

Alkyl 4-Aryl-6-amino-7- phenyl-3-(phenylimino)-4,7-dihydro- 3H-[1,2]dithiolo[3,4-b]pyridine-5-carboxylates: Synthesis and Agrochemical Studies
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

An access to 1H-cyclopenta[b]pyridine-4,5-diones via condensation of 6-nitro-1,2-o-quinone with arylamines and acetone
: Demidov, O. P., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Цифровая экономика. Электронный бизнес и электронная коммерция
: Сковиков А. Г.
Հրապարակվել է: (2022)

Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films
: Altakhov, A. S., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Mannich Reaction Involving 6-Amino-4-methyl-2-(thio)oxo-1,2-dihydropyridine-3,5-dicarbonitriles
: Strelkov, V. D., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

1,6-Diamino-2-oxopyridine-3,5-dicarbonitrile Derivatives in the Mannich Reaction
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

A new Approach to the synthesis of functional derivatives of 3-(4-Pyridinyl)-1H-indole and 4-s(1H-Indol-3-yl)thieno[2,3-b]pyridine
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Reaction of 3-Amino-4,6-diarylthieno[2,3-b]pyridine-2-carboxamides with Ninhydrin
: Dotsenko, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2020)

Английский для студентов-биологов: микология = English for biology students: mycology учебное пособие
: Пескова, И. М.