Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures

Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures

The possibility of using plasma enhanced atomic layer deposition method for growing heteroepitaxial oriented AlN films on Si (100) and sapphire (001) substrates at temperatures less than 300 °C was investigated. The resulting samples were studied by X-ray diffraction analysis and ellipsometry. It ha...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:

Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính:	Tarala, V. A., Тарала, В. А., Ambartsumov, M. G., Амбарцумов, М. Г., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Martens, V. Y., Мартенс, В. Я., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю.
Định dạng:	Статья
Ngôn ngữ:	English
Được phát hành:	Elsevier B.V. 2018
Những chủ đề:	A1. X-ray diffraction A3. Atomic layer epitaxy B1. Nitrides B2. Semiconducting aluminum compounds B2. Semiconducting III-V materials Aluminum nitride Aluminum coatings Atoms
Truy cập trực tuyến:	https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85008690050&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=&nlr=&nls=&sid=2d4e826478140d99650a215e37019390&sot=aff&sdt=cl&cluster=scopubyr%2c%222016%22%2ct&sl=174&s=AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29+OR+AF-ID%28%22Stavropol+State+University%22+60070961%29+OR+AF-ID%28%22stavropolskij+Gosudarstvennyj+Tehniceskij+Universitet%22+60026323%29&relpos=4&citeCnt=3&searchTerm= https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3166
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Những quyển sách tương tự

Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles
Bằng: Ambartsumov, M. G., et al.
Được phát hành: (2019)

Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
Bằng: Ambartsumov, M. G., et al.
Được phát hành: (2021)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2020)

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2021)

Unusual cyclization of N-imidazolyl quinone imines with the formation of thiadiazole ring and its subsequent recyclization
Bằng: Demidov, O. P., et al.
Được phát hành: (2022)

Empirical determination of the degree of analgesic activity of some new 3-aminothieno[2,3-b]pyridines and 1,4-dihydropyridines based on a complex criterion
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2023)

Synthesis and Cyclizations of N-(Thieno[2,3-b]pyridin-3-yl)cyanoacetamides
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2019)

New Heterocyclization Reactions with Malononitrile Dimer
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2024)

Synthesis of new polycyclic compounds containing thieno[2′,3′:5,6]pyrimido[2,1-a]isoindole fragment
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2021)

Numerical simulation of functional characteristics of solar elements ingaasn/si
Bằng: Sanakulov, S. O., et al.
Được phát hành: (2021)

Novel synthetic approach to pyrrolo[1,2-b]cinnolines
Bằng: Demidov, O. P., et al.
Được phát hành: (2020)

Synthesis and analgesic activity of new heterocyclic cyanothioacetamide derivatives
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2021)

Divergent Transformations of 2-Nitro-1H-benzo[f]chromenes in Reactions with Alkylidenemalononitriles: Access to Naphtho[2,1-b]furans via Base-Mediated Pyran Ring Contraction
Bằng: Demidov, O. P., et al.
Được phát hành: (2024)

Reaction of N,N′-Diphenyldithiomalondiamide with Aromatic Aldehydes and Cyanoacetamide
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2023)

New type of recyclization in 3,4-dihydroisoquinolines in the synthesis of β-(o-indazolylaryl)ethylamines and their 7-azaindazolyl analogues
Bằng: Demidov, O. P., et al.
Được phát hành: (2022)

Judd-Ofelt Analysis of High Erbium Content Yttrium-Aluminum and Yttrium-Scandium-Aluminum Garnet Ceramics
Bằng: Nikova, M. S., et al.
Được phát hành: (2022)

Synthesis and properties of 4,6-Dimethyl-5-pentyl-2-thioxo-1,2-dihydropyridine-3-carbonitrile and 3-Amino-4,6-dimethyl-5-pentylthieno[2,3-b]pyridines
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2019)

A facile synthesis of 1-oxo-pyrrolo[2,1-a]isoquinolines
Bằng: Aksenov, A. V., et al.
Được phát hành: (2018)

A facile synthesis of 1-oxo-pyrrolo[2,1-a]isoquinolines
Bằng: Aksenov, A. V., et al.
Được phát hành: (2018)

Reaction of thieno[2,3-b]pyridines with sodium hypochlorite: An unusual and stereoselective one-pot approach to dimeric pyrrolo[2′,3′:4,5]thieno[2,3-b]pyridines
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2019)

BLOCKCHAIN IMPACT ON THE B2B SALES MARKET
Bằng: Bondarenko, N. G., et al.
Được phát hành: (2021)

Crystal structure and properties of new benzimidazopyrido[2,3-b]indole-6-carbonitriles
Bằng: Demidov, O. P., et al.
Được phát hành: (2024)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2021)

Novel recyclization of 3,4-dihydroisoquinolines as an efficient route to a new type of heteroarylated derivatives of β-arylethylamines
Bằng: Demidov, O. P., et al.
Được phát hành: (2023)

SYNTHESIS AND STUDY OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE COLLOIDAL FORM OF IRON WITH RIBOFLAVIN AND L-LYSINE
Bằng: Blinov, A. V., et al.
Được phát hành: (2024)

Alkyl 4-Aryl-6-amino-7- phenyl-3-(phenylimino)-4,7-dihydro- 3H-[1,2]dithiolo[3,4-b]pyridine-5-carboxylates: Synthesis and Agrochemical Studies
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2023)

An access to 1H-cyclopenta[b]pyridine-4,5-diones via condensation of 6-nitro-1,2-o-quinone with arylamines and acetone
Bằng: Demidov, O. P., et al.
Được phát hành: (2021)

Цифровая экономика. Электронный бизнес и электронная коммерция
Bằng: Сковиков А. Г.
Được phát hành: (2022)

Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films
Bằng: Altakhov, A. S., et al.
Được phát hành: (2018)

Mannich Reaction Involving 6-Amino-4-methyl-2-(thio)oxo-1,2-dihydropyridine-3,5-dicarbonitriles
Bằng: Strelkov, V. D., et al.
Được phát hành: (2023)

1,6-Diamino-2-oxopyridine-3,5-dicarbonitrile Derivatives in the Mannich Reaction
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2021)

A new Approach to the synthesis of functional derivatives of 3-(4-Pyridinyl)-1H-indole and 4-s(1H-Indol-3-yl)thieno[2,3-b]pyridine
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Reaction of 3-Amino-4,6-diarylthieno[2,3-b]pyridine-2-carboxamides with Ninhydrin
Bằng: Dotsenko, V. V., et al.
Được phát hành: (2020)

Английский для студентов-биологов: микология = English for biology students: mycology учебное пособие
Bằng: Пескова, И. М.