Ga door naar de inhoud
APA (7e ed.) Bronvermelding

Tarala, V. A., Тарала, В. А., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю., . . . Мартенс, В. Я. (2018). Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition. Maik Nauka Publishing / Springer SBM.

Chicago (17e ed.) Bronvermelding

Tarala, V. A., et al. Growth of Aluminum Nitride Films by Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition. Maik Nauka Publishing / Springer SBM, 2018.

MLA (8e ed.) Bronvermelding

Tarala, V. A., et al. Growth of Aluminum Nitride Films by Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition. Maik Nauka Publishing / Springer SBM, 2018.

Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.