Chuyển đến nội dung
Trích dẫn kiểu APA (xuất bản lần thứ 7)

Tarala, V. A., Тарала, В. А., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю., . . . Мартенс, В. Я. (2018). Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition. Maik Nauka Publishing / Springer SBM.

Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)

Tarala, V. A., et al. Growth of Aluminum Nitride Films by Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition. Maik Nauka Publishing / Springer SBM, 2018.

Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)

Tarala, V. A., et al. Growth of Aluminum Nitride Films by Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition. Maik Nauka Publishing / Springer SBM, 2018.

Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.