Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition

Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition

Aluminum nitride films have been grown by plasma-enhanced atomic layer deposition under self-limiting growth and CVD-like conditions. The films have been characterized by IR spectroscopy, ellipsometry, and Auger exposure spectroscopy. We have examined the influence of the deposition temperature, the...

Ամբողջական նկարագրություն

Պահպանված է:

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ:	Tarala, V. A., Тарала, В. А., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю., Valyukhov, D. P., Валюхов, Д. П., Lisitsyn, S. V., Лисицын, С. В., Martens, V. Y., Мартенс, В. Я.
Ձևաչափ:	Статья
Լեզու:	English
Հրապարակվել է:	Maik Nauka Publishing / Springer SBM 2018
Խորագրեր:	Aluminum Aluminum nitride Atomic layer deposition Atoms Chemical vapor deposition Deposition Nitrides Refractive index Aluminum coatings
Առցանց հասանելիություն:	https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-84934342777&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=1&nlr=20&nls=afprfnm-t&affilName=north+caucasus+federal+university&sid=fe656e0c7517dbc25228b3d577bd000c&sot=afnl&sdt=cl&cluster=scopubyr%2c%222015%22%2ct&sl=53&s=%28AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29%29&relpos=26&citeCnt=1&searchTerm= https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3713
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!

Նմանատիպ նյութեր

Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles
: Ambartsumov, M. G., և այլն
Հրապարակվել է: (2019)

Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
: Ambartsumov, M. G., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
: Devitsky, O. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2020)

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
: Devitsky, O. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

Diamond composite with embedded YAG:Ce nanoparticles as a source of fast X-ray luminescence in the visible and near-IR range
: Vakalov, D. S., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Synthesis of titanium dioxide thin films via thermo- and plasma-enhanced atomic layer deposition
: Ambartsumov, M. G., և այլն
Հրապարակվել է: (2024)

Peculiarities of pulsed laser deposition of thin InGaAsN films in an active background gas atmosphere
: Devitsky, O. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

Judd-Ofelt Analysis of High Erbium Content Yttrium-Aluminum and Yttrium-Scandium-Aluminum Garnet Ceramics
: Nikova, M. S., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
: Devitsky, O. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films
: Altakhov, A. S., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)

To the evaluation of the parameters of the regression equation between the radiometric and geological testing
: Zakharova, N. I., և այլն
Հրապարակվել է: (2020)

STRUCTURE AND COMPOSITION OF THIN GaAs1-x-yNxBiy FILMS PRODUCED BY PULSED LASER DEPOSITION
: Devitsky, O. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

Optical spectroscopy of the Er3+ion in BaY2F8crystal and YSAG ceramics
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

The Information System «Mineral Water Deposits Passport» Model Development
: Makarova, A. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2024)

Issues of and outlook for using geothermal water
: Drovosekova, T. I., և այլն
Հրապարակվել է: (2019)

Impact of magnesium oxide concentration and yttrium-aluminum garnet stoichiometry deviation on the microstructure and optical transmission of yag-based ceramics
: Malyavin, F. F., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

Application of Bayes Networks in the Design of the Information System 'Mineral Water Deposit'
: Martirosyan, K. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

The paleoreconstruction of sedimentation conditions at Beshpagirskoe deposit of the Stavropol Krai based on the results of pebble morphology investigation
: Sherstyukov, M. P., և այլն
Հրապարակվել է: (2020)

X-ray luminescence of diamond composite films containing yttrium-aluminum garnet nanoparticles with varied composition of Sc–Ce doping
: Vakalov, D. S., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Development of an Intelligent Information System 'Smart Deposit' for Mineral Water Resourse
: Mishin, V. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

Sintering and microstructure evolution of Er1.5Y1.5-xScx+yAl5-yO12 garnet ceramics with scandium in dodecahedral and octahedral sites
: Nikova, M. S., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

The influence of Sc3+ions on fluorescence lifetime of Yb3+in Yb-doped yttrium scandium aluminum garnet (Yb:YSAG) ceramics
: Nikova, M. S., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

Synthesis of Y3Al5O12:Ce Powders for X-ray Luminescent Diamond Composites
: Vakalov, D. S., և այլն
Հրապարակվել է: (2023)

SYNTHESIS AND INVESTIGATION OF PROPERTIES OF COMPOSITE CERAMICS LuAG: Ce / Al2O3
: Lapin, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2024)

Prospects for implementing blockchain data storage technology as a process of digital transformation of society
: Sosin, A. I., և այլն
Հրապարակվել է: (2021)

Optical properties of YSAG: Yb: Er ceramics with Sc3+ cations in the dodecahedral and octahedral positions of the garnet crystal lattice
: Tarala, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2024)

PLD growth of InGaAsP nanowires: morphology surface and structural property
: Sysoev, I. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

Investigation of the Vacuum Sintering Kinetics of the Optical Luminescent Ceramic Y3–xScxAl5O12:Cr
: Lapin, V. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2024)

Dipyrazolodioxadiazocines as shelf-stable "ready-to-use" precursors for an in situ generation of enolate-iminium 1,4-dipoles: a straightforward atom-economical approach to pyrazolo[5,1-d][1,3,5]dioxazines
: Rubin, M. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2020)

Using silver nanoparticles for the increase of YAG: Ce luminescence
: Kravtsov, A. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

The impact of yttrium aluminum garnet stoichiometry deviation on the conversion efficiency of tetravalent chromium ions
: Malyavin, F. F., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

Geological and geophysical characteristics of marginal deposits at Dragon field, block 09-1, Cuulong basin, continental shelf of South Vietnam
: Ryumkin, D. A., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

Substantiation of paleohydrodynamic sedimentation modes and identification of missed oil-and-gas saturated areas that are promising for additional exploration of the Lower Cretaceous deposits of the Albian stage of the Achikulak oil field according to geophysical well logging data
: Ibragimova, T. V., և այլն
Հրապարակվել է: (2022)

The experience of using of the GPR method for sludge survey
: Yakushev, V. M., և այլն
Հրապարակվել է: (2018)