Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition

Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition

Aluminum nitride films have been grown by plasma-enhanced atomic layer deposition under self-limiting growth and CVD-like conditions. The films have been characterized by IR spectroscopy, ellipsometry, and Auger exposure spectroscopy. We have examined the influence of the deposition temperature, the...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:

Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính:	Tarala, V. A., Тарала, В. А., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Shevchenko, M. Y., Шевченко, М. Ю., Valyukhov, D. P., Валюхов, Д. П., Lisitsyn, S. V., Лисицын, С. В., Martens, V. Y., Мартенс, В. Я.
Định dạng:	Статья
Ngôn ngữ:	English
Được phát hành:	Maik Nauka Publishing / Springer SBM 2018
Những chủ đề:	Aluminum Aluminum nitride Atomic layer deposition Atoms Chemical vapor deposition Deposition Nitrides Refractive index Aluminum coatings
Truy cập trực tuyến:	https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-84934342777&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=1&nlr=20&nls=afprfnm-t&affilName=north+caucasus+federal+university&sid=fe656e0c7517dbc25228b3d577bd000c&sot=afnl&sdt=cl&cluster=scopubyr%2c%222015%22%2ct&sl=53&s=%28AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29%29&relpos=26&citeCnt=1&searchTerm= https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3713
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Những quyển sách tương tự

Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles
Bằng: Ambartsumov, M. G., et al.
Được phát hành: (2019)

Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
Bằng: Ambartsumov, M. G., et al.
Được phát hành: (2021)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2020)

Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2021)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2018)

Diamond composite with embedded YAG:Ce nanoparticles as a source of fast X-ray luminescence in the visible and near-IR range
Bằng: Vakalov, D. S., et al.
Được phát hành: (2021)

Synthesis of titanium dioxide thin films via thermo- and plasma-enhanced atomic layer deposition
Bằng: Ambartsumov, M. G., et al.
Được phát hành: (2024)

Peculiarities of pulsed laser deposition of thin InGaAsN films in an active background gas atmosphere
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2023)

Judd-Ofelt Analysis of High Erbium Content Yttrium-Aluminum and Yttrium-Scandium-Aluminum Garnet Ceramics
Bằng: Nikova, M. S., et al.
Được phát hành: (2022)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2021)

Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films
Bằng: Altakhov, A. S., et al.
Được phát hành: (2018)

To the evaluation of the parameters of the regression equation between the radiometric and geological testing
Bằng: Zakharova, N. I., et al.
Được phát hành: (2020)

STRUCTURE AND COMPOSITION OF THIN GaAs1-x-yNxBiy FILMS PRODUCED BY PULSED LASER DEPOSITION
Bằng: Devitsky, O. V., et al.
Được phát hành: (2023)

Optical spectroscopy of the Er3+ion in BaY2F8crystal and YSAG ceramics
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2022)

The Information System «Mineral Water Deposits Passport» Model Development
Bằng: Makarova, A. A., et al.
Được phát hành: (2024)

Issues of and outlook for using geothermal water
Bằng: Drovosekova, T. I., et al.
Được phát hành: (2019)

Impact of magnesium oxide concentration and yttrium-aluminum garnet stoichiometry deviation on the microstructure and optical transmission of yag-based ceramics
Bằng: Malyavin, F. F., et al.
Được phát hành: (2022)

Application of Bayes Networks in the Design of the Information System 'Mineral Water Deposit'
Bằng: Martirosyan, K. V., et al.
Được phát hành: (2023)

The paleoreconstruction of sedimentation conditions at Beshpagirskoe deposit of the Stavropol Krai based on the results of pebble morphology investigation
Bằng: Sherstyukov, M. P., et al.
Được phát hành: (2020)

X-ray luminescence of diamond composite films containing yttrium-aluminum garnet nanoparticles with varied composition of Sc–Ce doping
Bằng: Vakalov, D. S., et al.
Được phát hành: (2021)

Development of an Intelligent Information System 'Smart Deposit' for Mineral Water Resourse
Bằng: Mishin, V. V., et al.
Được phát hành: (2023)

Sintering and microstructure evolution of Er1.5Y1.5-xScx+yAl5-yO12 garnet ceramics with scandium in dodecahedral and octahedral sites
Bằng: Nikova, M. S., et al.
Được phát hành: (2022)

The influence of Sc3+ions on fluorescence lifetime of Yb3+in Yb-doped yttrium scandium aluminum garnet (Yb:YSAG) ceramics
Bằng: Nikova, M. S., et al.
Được phát hành: (2022)

Synthesis of Y3Al5O12:Ce Powders for X-ray Luminescent Diamond Composites
Bằng: Vakalov, D. S., et al.
Được phát hành: (2023)

SYNTHESIS AND INVESTIGATION OF PROPERTIES OF COMPOSITE CERAMICS LuAG: Ce / Al2O3
Bằng: Lapin, V. A., et al.
Được phát hành: (2024)

Prospects for implementing blockchain data storage technology as a process of digital transformation of society
Bằng: Sosin, A. I., et al.
Được phát hành: (2021)

Optical properties of YSAG: Yb: Er ceramics with Sc3+ cations in the dodecahedral and octahedral positions of the garnet crystal lattice
Bằng: Tarala, V. A., et al.
Được phát hành: (2024)

PLD growth of InGaAsP nanowires: morphology surface and structural property
Bằng: Sysoev, I. A., et al.
Được phát hành: (2022)

Investigation of the Vacuum Sintering Kinetics of the Optical Luminescent Ceramic Y3–xScxAl5O12:Cr
Bằng: Lapin, V. A., et al.
Được phát hành: (2024)

Dipyrazolodioxadiazocines as shelf-stable "ready-to-use" precursors for an in situ generation of enolate-iminium 1,4-dipoles: a straightforward atom-economical approach to pyrazolo[5,1-d][1,3,5]dioxazines
Bằng: Rubin, M. A., et al.
Được phát hành: (2020)

Using silver nanoparticles for the increase of YAG: Ce luminescence
Bằng: Kravtsov, A. A., et al.
Được phát hành: (2022)

The impact of yttrium aluminum garnet stoichiometry deviation on the conversion efficiency of tetravalent chromium ions
Bằng: Malyavin, F. F., et al.
Được phát hành: (2022)

Geological and geophysical characteristics of marginal deposits at Dragon field, block 09-1, Cuulong basin, continental shelf of South Vietnam
Bằng: Ryumkin, D. A., et al.
Được phát hành: (2022)

Substantiation of paleohydrodynamic sedimentation modes and identification of missed oil-and-gas saturated areas that are promising for additional exploration of the Lower Cretaceous deposits of the Albian stage of the Achikulak oil field according to geophysical well logging data
Bằng: Ibragimova, T. V., et al.
Được phát hành: (2022)

The experience of using of the GPR method for sludge survey
Bằng: Yakushev, V. M., et al.
Được phát hành: (2018)