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Получение методом ионно-лучевого осаждения и исследование свойств тонких пленок нитрида алюминия на лейкосапфире

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Никулин, Д. А.
Format: ВКР
Sprache:Russian
Veröffentlicht: 2019
Online Zugang:https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/7624
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