Получение методом ионно-лучевого осаждения и исследование свойств тонких пленок нитрида алюминия на лейкосапфире
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | ВКР |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
2019
|
| Онлайн доступ: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/7624 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|