Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям
Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению пле...
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Format: | Книга |
Language: | Russian |
Published: |
Москва
ТУСУР
2012
|
Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10900 https://e.lanbook.com/img/cover/book/10900.jpg |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|